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长晶设备 全自动单晶硅生长炉

公司对大尺寸半导体级硅单晶生长设备的关键技术攻关,研发出了超导磁场技术、CCD视频技术等多项创新技术,实现了智能化全自动单晶硅生长技术的重大突破,主要技术达到国际领先水平。

该产品相继获得国家重大科技02专项、工信部第三批制造业单项冠军产品、浙江省科技一等奖等奖项。

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